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提出了一种新的优化的基于模型的光学邻近矫正算法，该算法充分考虑了图形内部及图形之间的光学邻近影响，实现了线段切割和移动步长的自适应性，提高了系统的矫正精度及矫正速度，实验结果表明该算法是有效的．
优化的基于模型的光学邻近矫正算法
【摘 要】
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提出了一种新的优化的基于模型的光学邻近矫正算法，该算法充分考虑了图形内部及图形之间的光学邻近影响，实现了线段切割和移动步长的自适应性，提高了系统的矫正精度及矫正速度，实
【机 构】
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清华大学计算机科学与技术系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(批准号:90307017)~~
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