化学氧碘激光器中的角立方反射器的研制

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【摘要】

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分别利用电子束蒸发和离子束溅射手段在单晶硅基底上制备了54.7°入射1315nm和632.8nm双波长高反射薄膜,并对两种手段所镀制薄膜地性能进行了比较;然后对离子束溅射所镀制的

【作者】

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李刚公发全刘万发孙龙孙连春

【机构】

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中科院大连化学物理研究所,中科院长春光学精密机械与物理研究所

【出处】

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光学技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

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薄膜光学电子束蒸发离子束溅射角立方反射器

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分别利用电子束蒸发和离子束溅射手段在单晶硅基底上制备了54.7°入射1315nm和632.8nm双波长高反射薄膜,并对两种手段所镀制薄膜地性能进行了比较;然后对离子束溅射所镀制的反射镜进行了胶合,得到了高精度的角立方反射器.最后,将所制备的角立方反射器实际用于化学氧碘激光谐振腔后,获得了近衍射极限的激光输出.

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