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阐述了超临界CO2流体特性，超临界表面清洗的原理、工艺以及在清洗过程中的独到优势，概述了超临界CO2流体在半导体微电子、精密机械以及其他领域清洗行业中的研究进展与应用，并对超临界清洗技术未来发展趋势进行了展望。
超临界 CO2清洗在精微制造领域中研究与应用
【摘 要】
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阐述了超临界CO2流体特性，超临界表面清洗的原理、工艺以及在清洗过程中的独到优势，概述了超临界CO2流体在半导体微电子、精密机械以及其他领域清洗行业中的研究进展与应用，并对
【机 构】
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江苏理工学院机械工程学院
【出 处】
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机械设计与制造工程
【发表日期】
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2013年12期
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