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随着电子信息时代的到来，电子芯片逐渐成为国家未来大力发展的主要产业。电子级氢氟酸作为芯片制作过程必需的化学品，也成为此产业上未来主要发展的方向。介绍了氢氟酸一般生产流程、等级分类以及电子级生产工艺、技术难点等。
电子级氢氟酸研究进展
【摘 要】
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随着电子信息时代的到来，电子芯片逐渐成为国家未来大力发展的主要产业。电子级氢氟酸作为芯片制作过程必需的化学品，也成为此产业上未来主要发展的方向。介绍了氢氟酸一般生产流程、等级分类以及电子级生产工艺、技术难点等。
【机 构】
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辽宁化工
【出 处】
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辽宁化工
【发表日期】
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2023年08期
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