【摘 要】
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随着光通信的飞速发展,Si基SiO2平面光波导集成器件的应用更加重要和广泛。在Si基上制备高质量的厚SiO2 薄膜,是制作SiO2光波导及其集成器件的基础。本文介绍了Si基厚SiO2薄
【机 构】
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随着光通信的飞速发展,Si基SiO2平面光波导集成器件的应用更加重要和广泛。在Si基上制备高质量的厚SiO2 薄膜,是制作SiO2光波导及其集成器件的基础。本文介绍了Si基厚SiO2薄膜的几种制备方法。
With the rapid development of optical communication, the application of Si-based SiO2 planar optical waveguide integrated device is more and more important and extensive. The preparation of high-quality SiO2 films on Si substrates is the basis for the fabrication of SiO2 optical waveguides and their integrated devices. This article describes several methods of preparing Si-based thick SiO2 thin films.
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