超光滑表面清洗技术现状及发展趋势

来源 :航空精密制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gundamchen

【摘要】

：

论述了目前超光滑表面清洗的基本理论,常用清洗工艺及清洗方法,最后对清洗技术的发展前景进行了展望。 The basic theory of the super-smooth surface cleaning, the commo

【作者】

：

王宇蔡亚梅滕霖

【机构】

：

西安飞行自动控制研究所,西安飞行自动控制研究所,西安飞行自动控制研究所西安710065,西安710065,西安710065

【出处】

：

航空精密制造技术

【发表日期】

：

2003年02期

【关键词】

：

超光滑表面清洗技术

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论述了目前超光滑表面清洗的基本理论,常用清洗工艺及清洗方法,最后对清洗技术的发展前景进行了展望。 The basic theory of the super-smooth surface cleaning, the common cleaning process and the cleaning method are discussed. Finally, the prospect of the cleaning technology is prospected.

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