【摘 要】
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硬薄膜软基底结构在压应力作用下通常会发生一种褶皱形式的屈曲失稳,这种结构在微纳机电系统、柔性电子器件等领域有非常广泛的应用。压电材料因其独特的力电耦合特性具有普
【基金项目】
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浙江省自然科学基金资助项目(LY18A020011)
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硬薄膜软基底结构在压应力作用下通常会发生一种褶皱形式的屈曲失稳,这种结构在微纳机电系统、柔性电子器件等领域有非常广泛的应用。压电材料因其独特的力电耦合特性具有普通材料不可替代的作用,受到软基底-硬薄膜-软基底3层结构能进一步提高其弯曲性能的启发,从理论上分析了关于压电薄膜3层结构在压应力作用下的屈曲问题,结合线性扰动分析和能量法获得了3层结构压电薄膜屈曲的临界应变、波数、波长和幅值的解析表达式,并且与弹性薄膜3层结构进行了对比分析,发现压电薄膜比弹性薄膜有更强的抵抗屈曲变形能力。
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