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期刊论文
正压漏孔的校准方法
正压漏孔的校准方法
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhifuhu
【摘 要】
:
随着吸枪式质谱计检漏法的广泛应用,在有些应用领域中,对正压检漏法的定量笥提出了更要求。解决正压检漏定量性问题的关键之一,就是要精确地校准正压漏孔。校准正压漏孔的主要方
【作 者】
:
孟扬
李旺奎
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1998年6期
【关键词】
:
正压漏孔
校准
测量
吸枪式质谱计
检漏法
Pressure leak
Calibration
Measurement
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随着吸枪式质谱计检漏法的广泛应用,在有些应用领域中,对正压检漏法的定量笥提出了更要求。解决正压检漏定量性问题的关键之一,就是要精确地校准正压漏孔。校准正压漏孔的主要方法有:恒压变容法,定容变压法,变容变压法,动态比较法和理论推算法。这些方法既有各自的优点,也存在各自的不足。
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