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应用基于原子力显微镜与铁电分析仪联用的方法，在无顶电极的情况下，直接测试了PZT微阵列格点的电滞回线。结果表明，应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能够表征铁电电容的电滞回线，并且可以定性地评价薄膜微电容的铁电特性。
基于原子力显微技术的PZT微阵列图形铁电性能
【摘 要】
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应用基于原子力显微镜与铁电分析仪联用的方法，在无顶电极的情况下，直接测试了PZT微阵列格点的电滞回线。结果表明，应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能够表征铁电电
【机 构】
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西安理工大学材料科学与工程学院,国家复合改性聚合物材料工程技术研究中心
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2008年5期
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