nmAl粒子多层复合膜的电磁波散射特性

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用射频溅射工艺制备了nmAl粒子的多层复合膜,通过控制Al粒子和AlN膜的生长时间,成功地控制了Al粒子的粒径和在复合膜中的纵向分布。用TEM,暗场法并结合TV图像分析测得了Al粒子的粒径,并导出了粒径和生长时间的经验公式。
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