耐高压大电流IGBT管芯的设计与工艺关键技术研究

来源 :绍兴文理学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yyagan

【摘要】

：

IGBT广泛应用于电子、新能源、铁路交通、智能电网等领域.由于难以克服IGBT关键的减薄工艺与背面集电极工艺难题,1 200 V以上的耐高压IGBT领域还是少有产品问世.文章主要研究

【作者】

：

朱国夫余庆李晓敏章志明周家泉

【机构】

：

绍兴市华越微电子有限公司,国家纺织机械质量监督检验（绍兴）中心,浙江方圆机电有限公司

【出处】

：

绍兴文理学院学报

【发表日期】

：

2014年8期

【关键词】

：

IGBT 双面深结扩散背面透明集电极结终端结构 IGBT duplicated deep knot diffusion process back cle

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IGBT广泛应用于电子、新能源、铁路交通、智能电网等领域.由于难以克服IGBT关键的减薄工艺与背面集电极工艺难题,1 200 V以上的耐高压IGBT领域还是少有产品问世.文章主要研究1 700 V高压的IGBT管芯结构设计和制造的关键工艺,包括双面深结扩散工艺、背面透明集电极工艺、结终端结构设计及版图设计等.这些关键技术的应用提升了IGBT管芯的耐高压性能和工作稳定性、可靠性.

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