【摘 要】
：
以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体，采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340 ℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱（XPS）、X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等手段对不同厚度薄膜的微结构、表面形貌和光学性能进行了研究。结果表明，原子层沉积制备的Ir薄膜中元素纯度较高（大于95%），表面粗糙度低，并呈现多晶纳米颗粒。同时，Ir薄膜在紫外波段表现出较好的光学特性，可以用于制作Ir金属紫外光栅等光学器件。
【机 构】
：
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州310027
论文部分内容阅读
以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体，采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340 ℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱（XPS）、X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等手段对不同厚度薄膜的微结构、表面形貌和光学性能进行了研究。结果表明，原子层沉积制备的Ir薄膜中元素纯度较高（大于95%），表面粗糙度低，并呈现多晶纳米颗粒。同时，Ir薄膜在紫外波段表现出较好的光学特性，可以用于制作Ir金属紫外光栅等光学器件。
其他文献
A thermally tuned multi-channel interference widely tunable semiconductor laser is designed and demonstrated, for the first time to our knowledge, that realizes a tuning range of more than 45 nm, side-mode suppression ratios up to 56 dB, and Lorentzian li
在光学系统装调中, 由于光学元件的面型误差、加工误差等影响因素的存在, 使待装调的光学系统的装调失调量并非为一个确定的准值, 而是一个范围值, 在失调量范围内, 可能存在不止一组Zernike系数符合要求, 即以像差值为判据的装调结果的解不唯一, 需要对光学系统的其他参数进行测试判断光学系统在装调阶段是否满足技术要求。介绍了一种在装调过程中, 当各项像差的Zernike系数接近设计时, 利用干涉仪、分划板、五棱镜、经纬仪等设备, 在波前测试光路中采用猫眼效应进行装调过程中的光学系统焦距的测试方法, 通过光
在进行高精度曲率半径测量时, 三点支撑方式会引入测量误差。对该误差进行了理论分析及有限元仿真, 并通过实验对仿真结果进行了验证。结果表明, 支撑形变中的旋转对称误差项导致测量结果失准。在特定实验条件下, 得到的补偿量小于70 nm, 基于此对三点支撑下的曲率半径测量值进行补偿, 可以提高测量精度。
Photocatalytic TiO2 thin film is prepared by sol-gel technique on microstructured silicon substrate produced by femtosecond laser cumulative irradiation. The photocatalytic activity is evaluated by the degradation of methylene blue (MB) solution under ult
A plasmonic cavity filled with active material is proposed to explain optical switching. Optical properties, including transmission, response time, and field distribution of on/off state, are numerically investigated. We demonstrate that such a gain-assis
SO2 and NO2 are the most important pollution in atmosphere. An optimized long path (LP) differential optical absorption spectroscopy (DOAS) system of high light intensity at an ultraviolet (UV) wavelength is proposed and used to meas
Pulsed collimated blue light at 420.3 nm is generated in hot Rb vapor by upconverting the 778.10 nm pumping beam through four wave mixing process. The energy conversion efficiency exceeds 1% when a 45 cm-long, 170°C heated Rb cell is used. The influence o