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本文讨论了ＵＬＳＩ的发展对低介电常数（ｌｏｗ－ｋ）介质的需求，介绍了几种有实用价值的ｌｏｗ－ｋ介质的研究和发展现况，最后评述了ｌｏｗ－ｋ介质在ＵＬＳＩ中应用的前景。
低介电常数（low—k）介质在ULSI中的应用前景
【摘 要】
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本文讨论了ＵＬＳＩ的发展对低介电常数（ｌｏｗ－ｋ）介质的需求，介绍了几种有实用价值的ｌｏｗ－ｋ介质的研究和发展现况，最后评述了ｌｏｗ－ｋ介质在ＵＬＳＩ中应用的前景。
【机 构】
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复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室,开姆尼蒋技术大学微技术中心
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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2000年11期
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