【摘 要】
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激光技术是大规模集成电路中重要的加工技术之一。激光加工属于无接触加工,其光束直径小,能量密度大,生产效率高,加工质量稳定可靠。从激光直写、激光微焊接、激光检测与修复
【机 构】
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华南理工大学机械工程学院,华南理工大学机械工程学院,华南理工大学机械工程学院 广州 510641,广州 510641,广州 510641
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激光技术是大规模集成电路中重要的加工技术之一。激光加工属于无接触加工,其光束直径小,能量密度大,生产效率高,加工质量稳定可靠。从激光直写、激光微焊接、激光检测与修复和激光清洗等方面综述了激光技术在大规模集成电路中的应用,并阐明了其发展趋势。
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