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气膜阻尼对静电悬浮微加速度计系统的动态特性有着重要的影响.本文首先根据流体力学理论,构建了描述微加速度计内部气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程和描述微加速度计内部气体滑膜阻尼特性的线性Navier-Stokes方程,推导出悬浮质量块在轴向和径向运动时的气膜阻尼系数,并进行比较.然后采用ANSYS软件进行仿真分析,结果表明,解析误差在10％以内.