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综述了TiN薄膜的制备方法及进展,介绍了物理气相沉积、化学气相沉积、等离子化学气相沉积及光化学气相沉积等各种TiN薄膜的制备方法,评述了各种制备工艺的优缺点。介绍了TiN薄膜在超硬耐磨、耐腐蚀等方面研究的新进展,最后对TiN薄膜的应用范围和领域作了展望。
TiN薄膜制备方法、性能及其应用的研究进展
【摘 要】
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综述了TiN薄膜的制备方法及进展,介绍了物理气相沉积、化学气相沉积、等离子化学气相沉积及光化学气相沉积等各种TiN薄膜的制备方法,评述了各种制备工艺的优缺点。介绍了TiN
【机 构】
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上海工程技术大学材料工程学院,上海工程技术大学基础教学学院
【出 处】
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热加工工艺
【发表日期】
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2009年04期
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