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8通道多层镜软x光能谱仪结构采用整体式，结合中心准直机构，保证了多层镜的角度，实现系统整体瞄准，大大简化了瞄准程序。建立了谱仪的3维模型，利用ANSYS软件完成了有限元分析。静力学分析结果表明，在重力作用下准直件的变形较大，y方向上的变形量为0．016mm，通过增加准直筒厚度可消除影响。模态分析得到了影响谱仪使用性能必须避免的噪声。分析结果为保证谱仪测量精度提供了理论依据。