Precision nanometrology of a large area microstructured metrology surface

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woaiyan0
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
1 Introduction  Theauthorshavebeenworkingonanewsur faceencoderfordetectingmulti degree of freedom(MDOF)translationalandtiltmotionsofprecisionstages[1] .Thesurfaceencoderconsistsoftwofun damentalelements :asinusoidalmicrostructuredmetrologysurface ,whic 1 Introduction Theauthorshavebeenworkingonanewsur faceencoderfordetectingmultirationof freedom (MDOF) translationalandtiltmotionsofprecisionstages [1] .Thesurfaceencoderconsistsoftwofun damentalelements: asinusoidalmicrostructuredmetrologysurface, whic
其他文献
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
期刊
背景:南非Kruger国家公园是非洲国家中最大的娱乐场所,每年有将近百万名旅客前往观光。这一带被划为疟疾高流行区,而前来Kruger国家公园游览的人员中,了解有关抗疟预防方法
我院是宁化县唯一的综合性医院,也是目前我县农村三级医疗卫生保健网络的重要组成部分,除了担负正常的医疗、保健、教学、科研和计划生育工作外,还担负着全县绝大多数急、危
50年前的10月23日,布达佩斯爆发了声势浩大的群众示威游行,随后演变为流血冲突。10月24日和11月4日,苏联两次派兵镇压,史称“匈牙利事件”。匈牙利事件在世人心中是一个无法
so does he 与 so he does在形式上很相似(只是词序不同),但用法上完全不同。现区别如下:  一、so does he的用法  so does he 主要用来表示前面所说的情况也同样适用于后面的人或物,翻译成汉语通常是“他也一样”。如:  I like the book and so does he. 我喜欢这本书,他也喜欢。  I know that’s true, and s
英语是一种活的语言,是当今世界上应用最广泛的语言。阅读是理解和吸收这种语言的基本方法之一,它是获取知识,认识客观事物,发展智力和情感的重要途径。,培养阅读能力有助于
说来吓人,安徽省铜陵市的340名离休干部,1998年上半年医疗费人均支出8971元,是同期职工(含退休)人均费用的33倍。而宁夏青铜峡市离休人员、老红军虽仅占总人数的2.2%,却花掉了医疗社会统筹费用的54%。这
新华网2002.5.642岁的朱跃清5年前刚失业时,靠摆摊修自行车度日怕被熟人笑话,他把摊点摆在离家很远的地方,还终日戴着顶遮阳帽,将帽檐压得很低。在上海市就业指导中心专家的帮助下,他在4所大学