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微惯性测量单元具有成本低、体积小、功耗低和抗冲击等优点，可以应用在车辆稳定控制、平台稳定及导航控制系统中，具有广阔的市场应用前景。详细介绍了采用三轴MEMS陀螺和三轴MEMS加速度计研制的微惯性测量单元硬件设计，对信号进行预处理、陀螺漂移补偿、降噪等处理。所研制的低成本MIMU经过补偿后零位漂移保持在：X轴、Y轴、Z轴，可以应用到普通导航领域。