论文部分内容阅读
本文介绍了离子源使用不同放电物质所获得的双电荷态磷离子注入硅的工作。实验结果表明:在600kV离子注入机上利用双电荷态离子得到的1.2MeVP<sup>2+</sup>注入硅可获得适用于制备VLSI的CMOS电路中杂质反向分布N阱结构的掩埋层。
1.2MeV双电荷态磷离子注入硅的研究
【摘 要】
：
本文介绍了离子源使用不同放电物质所获得的双电荷态磷离子注入硅的工作。实验结果表明:在600kV离子注入机上利用双电荷态离子得到的1.2MeVP<sup>2+</sup>注入硅可获得适用于
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室,中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室
【出 处】
：
核技术
【发表日期】
：
1989年4期
其他文献
凤凰山煤矿在掘进煤巷时，采用传统的支护方式，造成巷道掘进成本居高不下。通过现场调查统计和分析，找出了影响巷道掘进支护成本高的主要原因是金属支架结构不合理和掘进工艺落后
粒度分析是沉积相研究中沉积相划分的重要手段,在沉积微相识别中的多解性问题解释中有重要参考价值,在搬运介质的能量和性质的研究以及区域沉积物搬运方式的确定等诸多方面也
本文报道了在直径一定的圆柱形样品盒中,装入不同高度的同种样品,其γ谱定量分析效率函数间关系的数学模型。该数学模型不仅使不同样品量分析的效率刻度大大简化,而且为采用
礼县 -罗家堡断裂带晚更新世以来有过明显活动。在礼县—罗家堡段和天水镇—街子口段直接错断全新世地层。断裂沿线地表陡坎发育 ,水系被左旋位错。结合沿该断裂带广泛分布的地震滑坡、砂土液化等 ,认为礼县 -罗家堡断裂带是 1654年天水南 8级地震的发震构造。该断裂晚更新世以来的平均水平位错速率为 0 95mm/a ,平均垂直位移速率为 0 35mm/a ,垂直位移速率约为水平位移速率的 1/ 3。
男，54岁。因咳嗽、咳痰半年，加重伴胸闷、气短1个月就诊。半年前无明显诱因出现咳嗽、咳白色黏痰，无发热及痰中带血。4个月前在单位体检时行x线胸透示左肺可见片状阴影，未引起重
本文就杂交瘤技术对核医学中的放射免疫分析、放射免疫显象及放射免疫治疗三个方面的影响进行了综述。更多还原
本文测量了正比区、饱和雪崩区和SQS区的气体放大特性曲线;测量了SQS工作模式的二次跃迁;测量了不同气体和比份时死区的大小,并对以SOS模式工作的探测器作了寿命试验。
介绍了采用锚网索耦合支护方法解决B6煤层复合顶板锚网支护的难题，该支护方法有效地解决了典型复合顶板条件下的井巷支护，对相同条件的井巷施工具有指导意义。