钢中析出相场发射扫描电镜的自动统计分析技术研究

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以往对析出相的研究均是通过透射电镜来获取析出相的成分、数量和尺寸等数据,难以实现析出相的自动统计分析。因此,为了实现自动统计分析,借助场发射扫描电镜(FE-SEM)与能谱分析软件Feature功能详细地研究了钢中析出相的自动统计分析技术,特别是对该方法中的样品制备、组织类型、析出相以及参数的设置与选择等主要影响因素进行了细致的分析。研究结果表明,实验最佳条件为采用化学侵蚀法、10 000倍的放大倍数、阈值为110~255,总分析面积不超过0.1mm^2。考虑到设备分辨率的影响,该实验方法只能对50nm以上
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