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介绍了质子交换LiNbO3光波导的制作工艺及光学特性测试,制作单模光波导的工艺条件及退火工艺.
退火质子交换LiNbO3光波导的工艺研究
【摘 要】
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介绍了质子交换LiNbO3光波导的制作工艺及光学特性测试,制作单模光波导的工艺条件及退火工艺.
【机 构】
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上海理工大学光电学院
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2002年2期
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