【摘 要】
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在通氩气和不同比率氧氩混合气体的条件下,利用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备铝（Al）掺杂氧化锌（AZO）薄膜（溅射功率为180W,衬底温度为300℃）,并对部分薄膜样品进行400℃或500℃退
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在通氩气和不同比率氧氩混合气体的条件下,利用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备铝（Al）掺杂氧化锌（AZO）薄膜（溅射功率为180W,衬底温度为300℃）,并对部分薄膜样品进行400℃或500℃退火处理。采用X射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）和分光光度计对薄膜的结构、表面形貌和光学性能进行测试研究。结果表明,制备的所有薄膜均呈现（002）晶面择优生长;与氩气溅射相比,当采用氧氩混合气体溅射时,生长的AZO薄膜晶粒尺寸显著增大;退火处理使2类薄膜的表面粗糙度都明显减小,晶粒也有所增大（7%-13%）
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