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本文介绍了Tecnai G220型透射电子显微镜的工作原理和特点,并结合ITO薄膜样品的高分辨显微象和Gatan Digi-talMicrograph 3.8.2分析软件分析了膜的晶体结构以及膜中的缺陷和晶格畸变等现象.分析结果表明Tecnai G220型透射电子显微镜可以直接观察到ITO膜的二维晶格像.并由此可以确定ITO膜的晶体结构,同时可以观察到晶界上的晶格畸变、孔洞以及晶粒内部的层错、刃位错等缺陷,是微观结构和缺陷分析的有力工具.