【摘 要】
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本文根据双频激光干涉测量原理,提出了一种实现高精度长光栅动态测量的新方法,介绍了新颖的激光信号处理电路、计算机接口电路和测试软件.系统所能达到的测量指标为:最大测量
【机 构】
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重庆大学精密仪器系,重庆大学精密仪器系,重庆大学精密仪器系,重庆大学精密仪器系
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本文根据双频激光干涉测量原理,提出了一种实现高精度长光栅动态测量的新方法,介绍了新颖的激光信号处理电路、计算机接口电路和测试软件.系统所能达到的测量指标为:最大测量长度1m,最小测量间隔为0.1mm,分辨率为0.01μm,测量速度为1m/5min,测量精度为±0.25μm(全长).本系统不仅用于计量长光栅动态检测,还可用于感应同步器、磁栅、线纹尺等长度计量元件的动态检测.
According to the theory of dual-frequency laser interferometry, a new method to realize the dynamic measurement of high-precision long grating is proposed, and the novel laser signal processing circuit, computer interface circuit and testing software are introduced.The measurement index that the system can reach is as follows: Measurement length of 1m, the minimum measurement interval of 0.1mm, a resolution of 0.01μm, the measurement speed of 1m / 5min, measurement accuracy of ± 0.25μm (full length). The system is not only used to measure long grating dynamic detection can also be used for induction Synchronizer, magnetic grid, wire ruler and other length measurement components of the dynamic detection.
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