【摘 要】
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水平沟道场控晶闸管是一种新型结构的场控晶闸管,它与一般晶闸管相比具有开关速度快、制作工艺简单、与集成电路工艺兼容等优点.本文概述了这种器件的原理、设计与制作工艺.
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程系,浙江大学信息与电子工程系,杭州八达微波技术器件厂 杭州 310008,杭州 310008
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水平沟道场控晶闸管是一种新型结构的场控晶闸管,它与一般晶闸管相比具有开关速度快、制作工艺简单、与集成电路工艺兼容等优点.本文概述了这种器件的原理、设计与制作工艺.
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