化学敏感半导体器件的研制

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本文介绍以集成电路工艺技术为基础,试验成功对氢离子敏感的化学敏感半导体器件(LOSFET),其体积小,性能可靠,响应时间快等优点,可以代替玻璃电极。在缓冲溶液中,检测氢离子的活度,实验结果证明,在酸碱溶液中,测得的漏电流I_(DS)与溶液的pH值呈线性关系;V_(GS)与pH值呈线性关系。 In this paper, based on the integrated circuit technology, we successfully test the LOSFET which is sensitive to hydrogen ions. It can replace the glass electrode because of its small size, reliable performance and fast response time. In the buffer solution, the activity of hydrogen ions was measured. The experimental results show that there is a linear relationship between the measured leakage current I DS and the pH value of the solution in acid-base solution. The linear relationship between V GS and pH value .
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