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该文利用有限元法对电容式角位移传感器三维电场进行分析 ,仿真研究不同结构参数的敏感元件 ,所得结论与实验结果吻合。
电容式角位移传感器三维电场有限元分析及仿真研究
【摘 要】
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该文利用有限元法对电容式角位移传感器三维电场进行分析 ,仿真研究不同结构参数的敏感元件 ,所得结论与实验结果吻合。
【机 构】
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天津大学电气与自动化学院
【出 处】
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计算机仿真
【发表日期】
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2003年12期
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