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利用正弦相位调制的光栅干涉仪测量振动物体的面形，采集振动物体引起相位变化的干涉条纹，经傅里叶变换解调相位，重建振动物体的面形。结果表明正弦相位调制的光栅干涉系统不仅具有较高的测量精度，而且还能测量振动物体的二维面形。
正弦相位调制的光栅干涉法测量振动物体面形
【摘 要】
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利用正弦相位调制的光栅干涉仪测量振动物体的面形，采集振动物体引起相位变化的干涉条纹，经傅里叶变换解调相位，重建振动物体的面形。结果表明正弦相位调制的光栅干涉系统不仅具
【机 构】
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南昌大学机电学院,南昌大学基础物理实验中心
【出 处】
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南昌大学学报：理科版
【发表日期】
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2009年6期
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