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扫描离子显微镜-飞行时间质谱仪（即SIM/ToF-SIMS）的研究是表面分析领域的前沿课题。本文叙述了其前半部分,自制SL-1型扫描离子显微镜的原理、设计加工及实验结果。Ga离子束能12keV时,束流1×10<sup>-9</sup>A、束径达亚微米,并得到ISE及ISI两种象。
扫描离子显微镜的研究
【摘 要】
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扫描离子显微镜-飞行时间质谱仪（即SIM/ToF-SIMS）的研究是表面分析领域的前沿课题。本文叙述了其前半部分,自制SL-1型扫描离子显微镜的原理、设计加工及实验结果。Ga离子束能12
【机 构】
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清华大学,清华大学
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1990年1期
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