【摘 要】
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利用低压水射流辅助激光加工的方法对多晶硅进行试验加工,测量了无水情况下以及不同射流速率下的盲孔体积,对比研究了不同射流速率下能量损失率的变化规律,并分析了变化的原
【机 构】
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安徽建筑大学激光先进制造技术中心,安徽合肥230022;南京理工大学机械学院,江苏南京210094
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利用低压水射流辅助激光加工的方法对多晶硅进行试验加工,测量了无水情况下以及不同射流速率下的盲孔体积,对比研究了不同射流速率下能量损失率的变化规律,并分析了变化的原因.研究表明,射流速率对激光烧蚀的能量损失率有一定影响;当速率增加到一定程度时,射流的冲蚀作用去除了熔渣以及重铸层,从而使激光与材料充分接触,提高了激光能量的有效利用,增加了盲孔烧蚀量.
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