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<正> 一、引言 离子镀TiN技术是近年来发展很快的PVD表面强化处理技术的一种,离子镀TiN是把金属蒸发源作为阴极与作为阳极的真空室产生弧光放电,使阴极金属靶材钛蒸发并离子化,再与室内的离子化氮结合成TiN,沉积在加有负偏压的工作表面。离子镀沉积温度较低,因此离子镀成为PVD中发展最快、最有前途的技术之一。TiN涂层首先成功