论文部分内容阅读
研制成功了一台超高真空化学气相沉积系统。该系统采用扁平石英管作为生长室，扁平石墨加热器进行加热。系统真空度用分子泵维持，本底真空度可达２×１０＾－６Ｐａ。利用该系统所生长的ＳｉＧｅ外延层晶体质量良好，界面清晰平直；利用Ｇｅ组分渐变技术还能够实现低位错密度弛豫ＳｉＧｅ外层的生长。
一种新型的SiGe超高真空化学气相沉积系统
【摘 要】
：
研制成功了一台超高真空化学气相沉积系统。该系统采用扁平石英管作为生长室，扁平石墨加热器进行加热。系统真空度用分子泵维持，本底真空度可达２×１０＾－６Ｐａ。利用该系统所生长的ＳｉＧｅ外延
【机 构】
：
清华大学微电子研究所
【出 处】
：
真空科学与技术
【发表日期】
：
2000年5期
其他文献
以纯铁和３８ＣｒＭｏＡｌ为例给出了用电子回旋共振微波等离子体氮化的实验结果，并给出了气体成分及配比，时间，温度，偏压等工艺参数对氮化结果的影响，指出在０．１Ｐａ的工作气压下，采用Ｎ２－Ｈ２混合气体，样品温度接近
为了解决在分布式环境下,Web-OLAP系统并发访问量急剧增加导致OLAP服务器负担过重的问题,提出一种基于分布式数据缓存技术的Web-OLAP系统。给出了该系统的总体框架和分布式缓存数据的表示,并设计了分布式缓存数据的管理算法。具体的应用实例表明,该方法可以有效地提高分布式环境下Web-OLAP系统的访问效率,较大缩短系统的响应时间。
不久前举行的联合国粮农组织（FAO）大会第40届会议期间，由中国农业部和粮农组织共同主办的南南合作边会在罗马粮农组织总部召开。该边会以“中国一粮农组织南南合作：共促包容与可
利用气体冷凝法成功地制备了平均粒径约２０￣１００ｎｍ的有机半导体材料酞菁铜纳米微粒，并讨论了不同的热场空间分布范围，加热温度对ＣｕＰｃ纳米微粒的粒径及其聚集态行为的影响。
对爆破地震波作用下框架结构进行了动力分析,建立了爆破地震波作用下框架体结构的时程分析方法,并将爆破地震波输入框架与地基、基础协同工作体系,对爆破地震波作用下框架与
随着“互联网＋”热的持续升温，莱恩农装公司董事长杨仲雄觉得“农机＋互联网”道路是走对了。作为全国较早推出智能型半喂人联合收割机的农机公司，莱恩农装早在2011年就在自己的收
4月1日，在贵州省贵阳综合保税区天鹰兄弟一期厂房内，贵州天鹰兄弟首架农用植保无人机正式下线。首批200架植保无人机将在贵州本地组装、调试，随后分批出口老挝，
微囊悬浮剂与常规的农药剂型相比具有以下优点,比如可控制释放、利用率高、持效期长、毒性低、有效成分稳定、环境友好等。施用常规剂型农药,特别是乳油,会使大量的有机溶剂
运用文献资料法、问卷调查法、数理统计法等方法。对阜阳和亳州两个地区城镇居民的体育消费水平、消费结构以及影响居民体育消费的因素等问题进行了调查。结果显示：皖西北地区