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对于“伺服电机＋滚珠丝杠”驱动机构，摩擦、饱和和高频振动等非线性因素是实现大行程无超调高精度点位（PTP）控制的主要障碍．针对这种驱动系统，在根据刚体动力学计算得到的线性传递函数的基础上，设计了高增益PID闭环控制系统和输入滤波器来实现大行程的纳米定位．配置闭环控制系统的极点为负实轴上的多重极点．避免了摩擦力补偿和双模控制策略的使用．为了避免驱动器饱和所导致的闭环系统响应超调现象，基于数字低通滤波器设计了闭环输入信号．实验结果表明，该定位系统可以实现大行程无超调纳米精度点位控制，10nm-100mm定位响