【摘 要】
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针对动物离体组织电生理检测的实际需求,设计并制备了一种以载玻片为基底,以微电极阵列为敏感元件,并将灌流装置集成一体的传感器芯片.采用微电子机械系统（MEMS）技术中的薄膜工
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院研究生院
【基金项目】
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国家重大科学研究计划资助项目（2011CB933202）, 国家高技术研究发展计划（863计划）资助项目（2007AA04Z326）, 国家自然科学基金资助项目（610270016,0801032）, 中国科学院科研装备研制项目（Y2010015）,中国科学院电子所创新项目（YOSQCX-9251）,中国科学院电子所青年创新项目（07QNCX-9240）
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针对动物离体组织电生理检测的实际需求,设计并制备了一种以载玻片为基底,以微电极阵列为敏感元件,并将灌流装置集成一体的传感器芯片.采用微电子机械系统（MEMS）技术中的薄膜工艺完成了微电极阵列的制备,其导电层和绝缘层分别是铂和氮化硅.采用聚二甲基硅烷（PDMS）浇铸制成埋有管道的方形灌流槽.该传感器可保持离体组织的生理活性,同时实现电生理信号的64通道同步记录.整个芯片结构紧凑,接口简单,使用方便.对芯片的电学性能进行了研究,结果表明,通过在微电极表面电镀修饰铂黑,可有效降低其交流阻抗,提高信噪比.
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