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研究了改变本底真空对薄膜质量的影响，给出了在该系统中得到质量较高金刚石薄膜的最小本底真空值：阐述了降低灯丝温度对薄膜质量的影响。在较低压力下用甲烷氧气作碳源在1500～1700℃合成质量较高的金刚石薄膜，在灯丝温度为1300℃时，获得了微观形貌为球状物的薄膜。用扫描电镜、喇曼光谱和X-ray衍射（Cu靶）对结果进行分析。