类金刚石薄膜光学常数的测量方法

来源 :武汉大学学报(理学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：sssyyyfff

【摘要】

：

采用椭偏法测量类金刚石(DLC)薄膜的光学常数,分析了DLC薄膜折射率分布情况, 提出了DLC薄膜折射率呈渐变分布的概念,建立了采用椭偏法进行DLC薄膜光学常数测量的多层物理模型

【作者】

：

杭凌侠徐均琪李建超

【机构】

：

西安工业学院

【出处】

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武汉大学学报(理学版)

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

类金刚石薄膜折射率测量模型 DLC film refractive index measurement model

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采用椭偏法测量类金刚石(DLC)薄膜的光学常数,分析了DLC薄膜折射率分布情况, 提出了DLC薄膜折射率呈渐变分布的概念,建立了采用椭偏法进行DLC薄膜光学常数测量的多层物理模型,分析讨论了实验方法的可行性和测量结果的可靠性.实验结果表明:采用该模型进行DLC薄膜光学常数的测量,使拟合误差(MSE)从31.71下降到1.125,提高了测量精度.

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