【摘 要】
：
作者利用低温氧等离子体处理聚硅烷涂层，成功地制备了SiO2膜．由IR谱给出的Si-O键的吸收峰波数，随氧等离子体处理时间的不同在1065～1088cm-1范围变化；XPS谱给出Si2p的结合能为103．3～1
【机 构】
：
四川大学物理系，成都 610064四川大学化学系，成都610064;
论文部分内容阅读
作者利用低温氧等离子体处理聚硅烷涂层，成功地制备了SiO2膜．由IR谱给出的Si-O键的吸收峰波数，随氧等离子体处理时间的不同在1065～1088cm-1范围变化；XPS谱给出Si2p的结合能为103．3～103．5eV，硅氧原子比为1：1．99；激光椭园偏振仪测得折射率在1．30～1．55范围；MOS电容的高频C-V特性曲线表明，平带电压为正，计算得氧化物电荷的电性为负，密度为6．6×1010～8．8×1011cm-2，其大小可以通过改变处理条件进行控制；BT实验表明，可动电荷密度为(3～6)×1010cm-2，这种新型的SiO2膜可望在微电子器工艺中得到应用．
其他文献
1998年房改方案开启了中国商品住宅的时代闸门.在此之后房地产行业从无到有,迅速发展,并成为拉动宏观经济增长的中流砥柱.而近几年一二线城市房价过快上涨与三四线城市的过量
时值中国经济社会转型时期,政府提出了“大众创业,万众创新”的重要号召,各高校作为创新创业教育的核心场所之一,积极开展了多项大学生创新创业教育工作.本研究基于学生视角,
快速LMS/Newton算法是近年来提出的一种集LMS算法的稳健性及Newton算法的快速性为一体的崭新算法 .作者将该算法应用于单片定点DSP ,通过定点DSP软件设计与扩展TI公司的DSKpl
多媒体教学或计算机辅助教学(Computer-AssistedInstruction，简称CAI)是利用计算机的图形、声音、动态演示静态投影结合的表现形式，直观、新颖地展示教学内容，调动学生的多种感官全方位获取知识的新型的教育技术 随着现代化教学手段的发展和普及，CAI已成为当前课堂教学的热点利用CAI，促进了数学学科教学水平的发展，提高了教学效果，在培养学生探索与创新精神、发挥学生的潜能等方
利用HAAR小波变换 ,实现羊绒不同部位、只有部分清晰的图象的融合 ,形成整幅清晰的图象 ,从而实现了光学显微镜在大放大倍数下对羊绒等细微物质的精确观测 ;从理论上阐述通过小波变换技术实现羊绒图象融合的机理和实现步骤
笔者近日对某县级市辖区内单户存量贷款千万元以上的企业进行了调查,发现相当比例企业贷款的用途和形态出现了新变化,应给予足够重视。调查显示,有相当数量的资金持续流向“
以Hardy空间函数为系数的被限制到(ё)方程式的(0,1)形式标准解算子可以用Szeg(o)核的积分算子表示.基于此,在单位圆盘上,相应的算子是Hilbert-Schmidt算子.
在农业部、科技部的亲切关怀和中国农业科学院的直接领导下,在社会各界朋友的大力支持下,经过编辑部全体同仁的精心策划、精心编排和精心运作,《农业质量标准》终于和广大读