【摘 要】
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本文给出了不同原始材料状况、不同中子辐照剂量对FZ(H_2)硅中氢施主产生的影响和经长时放置的中子掺杂FZ(H_2)硅的退火行为,提出了氢施主与缺陷直接相关的新证据;氢施主与中
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本文给出了不同原始材料状况、不同中子辐照剂量对FZ(H_2)硅中氢施主产生的影响和经长时放置的中子掺杂FZ(H_2)硅的退火行为,提出了氢施主与缺陷直接相关的新证据;氢施主与中子辐照和掺杂CZ硅中的氧施主产生、退火以及表观浓度与中子剂量的关系很不相同;中子辐照高于某一剂量时,氢施子浓度趋于饱和。本文对实验结果进行了初步讨论。
In this paper, the effects of different raw materials and different doses of neutron irradiation on hydrogen donor in FZ (H 2) silicon and annealing behavior of neutron-doped FZ (H 2) New evidence directly related to defects; the donor donor, the anneal, and the apparent concentration of hydrogen donor and neutron irradiated and doped CZ silicon have very different relationships with neutron dosages; neutron irradiation is higher than a certain dose The hydrogen donor concentration tends to be saturated. This article has carried on the preliminary discussion to the experimental result.
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