Method for simultaneously and directly measuring all six-DOF motion errors of a rotary axis

来源 :中国光学快报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：davidrandy

【摘要】

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We report a method for simultaneously and directly measuring all six-degrees-of-freedom(six-DOF) motion errors of a rotary axis. Such a method combines the prin

【作者】

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李家琨冯其波包传辰张斌

【机构】

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KeyLaboratoryofLuminescenceandOpticalInformation

【出处】

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中国光学快报:英文版

【发表日期】

：

2019年1期

【关键词】

：

simultaneously directly MEASURING six-DOF motion ERRORS

【基金项目】

：

supported by the National Natural Science Foundation of China(No.51527806),the Fundamental Research Funds for the Central Universities(No.2016RC019).

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We report a method for simultaneously and directly measuring all six-degrees-of-freedom(six-DOF) motion errors of a rotary axis. Such a method combines the principles of laser interferometry and laser collimation measurement. One reference rotary axis and

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