Pb1—xLaxTiO3薄膜的制备及介电特性研究

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用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备Pb1-xLaxTiO3(PLT,x〈0.2)薄膜,研究薄膜的结构及其介电、铁电性能。在600℃下退火1小时的PLT薄膜表现出单一的钙钛矿结构,(100)择优取向明显,在室温下PLT薄膜有典型的电滞回线。在x〈0.2(摩尔比)的范围内,PLT薄膜相对介电常数则随着La的增加而增加。
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