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硅橡胶具有生物兼容性好且制作技术与微细加工工艺兼容的优点，采用硅橡胶作为MEMS驱动器中的振动膜具有较好的应用前景。研究了一种微型电磁驱动器，由内嵌永磁体阵列的柔性硅橡胶（PDMS）振动膜和线圈两层构成，采用电镀工艺制作线圈层；采用电镀方法制作磁体阵列，由甩胶机旋涂硅橡胶并进行固化，制作内嵌磁体阵列的硅橡胶膜，对磁体磁化后可作为双向驱动器。对该驱动器进行了理论分析与数值模拟，采用有限元分析工具ANSYS对微驱动器的电磁驱动力及其挠度进行分析，二者结果基本一致，振动膜中心最大挠度的分析误差为7．96％，其一