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针对传统电子显微镜的手动调整平台存在的调节过程烦琐、复杂的问题，研制了一种由步进电机驱动的全自动的XY调整平台。简述了该平台的机械结构和控制系统设计，使用该平台配合自动测量软件能够实现自动检测磁环的外径和内径尺寸，大大提高了工作效率和检测精度。
磁环检测显微镜全自动定位平台的研制
【摘 要】
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针对传统电子显微镜的手动调整平台存在的调节过程烦琐、复杂的问题，研制了一种由步进电机驱动的全自动的XY调整平台。简述了该平台的机械结构和控制系统设计，使用该平台配合自
【机 构】
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上海杰灵磁性材料公司,上海大学精密机械系
【出 处】
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机械工程师
【发表日期】
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2008年3期
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