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研究了微波等离子体平板式PECVD设备的控制系统，主要讨论了微波控制系统，并给出了实现的关键代码；介绍了温度控制系统及其控制方法；设计了系统自动工艺流程。
微波等离子体平板式PECVD设备控制系统设计
【摘 要】
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研究了微波等离子体平板式PECVD设备的控制系统，主要讨论了微波控制系统，并给出了实现的关键代码；介绍了温度控制系统及其控制方法；设计了系统自动工艺流程。
【机 构】
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湖南红太阳光电科技有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2022年02期
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