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综述了铁电薄膜、多层膜和异质结构研究的新进展，分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点．重点介绍了铁电薄膜在铁电存储器、微电子机械系统及热释电红外探测器方面的应用．指出了目前铁电薄膜及器件设计研究需要重点解决的一些问题
铁电薄膜、多层膜及异质结构研究
【摘 要】
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综述了铁电薄膜、多层膜和异质结构研究的新进展，分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点．重点介绍了铁电薄膜在铁电存储器、微电子机械系统及热释电红外探测器方面的应用．指出了目
【机 构】
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南京大学固体微结构物理国家重点实验室
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1999年02期
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