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本文报道了 GaAs 反射式光电阴极的激活工艺过程和结果.通过实验确定了 GaAs表面的热清洁温度,利用钼丝热辐射加热方法达到了比较理想的清洁效果,采用铯分子源和高纯氧作氧源获得了高于1000μA/1m 的激活积分灵敏度.
NEAGaAs光电阴极激活工艺研究
【摘 要】
：
本文报道了 GaAs 反射式光电阴极的激活工艺过程和结果.通过实验确定了 GaAs表面的热清洁温度,利用钼丝热辐射加热方法达到了比较理想的清洁效果,采用铯分子源和高纯氧作氧源
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所半导体室,中国科学院西安光学精密机械研究所半导体室710068,710068
【出 处】
：
光子学报
【发表日期】
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1996年8期
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