论文部分内容阅读
本文提出了一种新颖的可获取差动检测信号的集成化硅微光纤传感器结构。该结构使困难的硅微光纤传感器的装调及封装过程大为简化，能有效的抑制检测过程中的多种干扰。本文详述了该传感器制造过程，并进行了传感器的特性实验。实验表明，采用该集成化结构设计的硅微声传感器，具有高的Ｑ值、高的信噪比及很强的抗干扰能力。