【摘 要】
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为测试光学系统的出射波前,采用一种基于梯度恢复算法的四波横向剪切干涉术.从四波剪切干涉仪中得到四波横向剪切干涉图,通过对干涉图的傅里叶变换得到x、y方向的剪切波面,进
【机 构】
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福建省电子产品监督检验所 福建 福州 350000
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为测试光学系统的出射波前,采用一种基于梯度恢复算法的四波横向剪切干涉术.从四波剪切干涉仪中得到四波横向剪切干涉图,通过对干涉图的傅里叶变换得到x、y方向的剪切波面,进而得到x、y方向的梯度数据,运用梯度恢复算法得到波面.本文通过仿真和实验来验证这种方法,仿真结果的PV=0.0045λ,RMS=0.0008λ,实验结果的PV=0.737λ,RMS=0.130λ.说明了该方法可以有效的检测光学系统的透射波前.
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