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1前言 1994年开始大批量生产16MDRAM,作为研究开发阶段也是从以64MDRAM为代表的0.4μm器件过渡到以256MDRAM为代表的0.25μm器件. ……
0.4～0.25μm时代的腐蚀技术
【摘 要】
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1前言 1994年开始大批量生产16MDRAM,作为研究开发阶段也是从以64MDRAM为代表的0.4μm器件过渡到以256MDRAM为代表的0.25μm器件. ……
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2002年5期
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