切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
氢氟酸在新型清洗工艺中的作用
氢氟酸在新型清洗工艺中的作用
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aaaj199054
【摘 要】
:
介绍了HF稀溶液在DGQ系列清洗工艺中对硅片表面的作用,无论是常规的酸碱清洗还是DGQ系列清洗剂的清洗,在没有HF稀溶液浸泡的情况下,1108波数处的吸收都是不同价态硅氧化物的
【作 者】
:
曹宝成
于新好
马洪磊
张庆坤
【机 构】
:
山东大学物理学与微电子学学院
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2002年7期
【关键词】
:
硅片清洗
氢氟酸
润湿性
【基金项目】
:
山东省自然科学基金资助项目
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍了HF稀溶液在DGQ系列清洗工艺中对硅片表面的作用,无论是常规的酸碱清洗还是DGQ系列清洗剂的清洗,在没有HF稀溶液浸泡的情况下,1108波数处的吸收都是不同价态硅氧化物的复合吸收,用HF稀溶液浸泡后清洗的硅片,复合吸收变成仅有二氧化硅的吸收.
其他文献
侧向驾驶辅助系统发展现状及技术趋势
先进驾驶辅助系统(Advanced Driving Assistance System,ADAS)是智能网联汽车(Intelligent and Connected Vehicle,ICV)现阶段发展的重要力量,文章详细列举分析了侧向驾驶辅
期刊
智能网联汽车
侧向驾驶辅助
发展现状
技术趋势
Intelligent and connected vehiclLateral driving assistan
土木工程建筑中大体积混凝土结构的施工技术研究
随着社会经济的迅猛发展,导致城市的发展与土地资源之间的矛盾更加严峻,由此推动了高层建筑的崛起速度,这便给土木建筑工程带来了更多的发展契机,同时也给土木工程建筑中大体
期刊
土木工程建筑
大体积混凝土结构
施工技术
日语语言能力培养方法调研
语言能力培养是一个漫长而又艰苦的过程,而日语语言能力的培养方法,是近年来人们不断探索而又始终未得到理想方案的一个难题。本项目围绕如何在第一课堂与第二课堂,增加日语
期刊
日语语言能力
第一课堂
第二课堂
肺炎的临床特点及诊治 第1讲 肺炎的概述
肺炎(Pneumonia)是由病原微生物或其他理化因素、免疫损伤、过敏及药物所致的肺实质性炎症,包括终末气道、肺泡及肺间质。据统计,我国每年肺炎的患病人数约250万,年发病率约2/1000,
期刊
肺炎
临床特点
急性呼吸系统感染
诊治
死亡原因
病原微生物
心血管疾病
理化因素
东石湖水库调蓄水池的设计
介绍了东石湖水库泵站引水工程概况,详细阐述了东石湖水库调蓄水池的设计方案。
期刊
东石湖水库
调蓄水池
供水
腰椎峡部裂性滑脱合并下位椎峡部裂的治疗
目的探讨腰椎峡部裂性滑脱合并下位椎峡部裂患者的治疗。方法回顾性分析2006年8月至2010年8月收治的腰椎峡部裂性滑脱合并下位椎峡部裂的15例患者,行脊柱后路滑脱椎体复位、
期刊
峡部裂性滑脱
下位峡部裂
植骨融合
市政道路沥青路面接缝施工技术要点探析
市政道路施工是重点的市政建设项目,沥青路面接缝施工作为市政道路施工重要组成,施工效果将直接决定市政道路整体质量.将具体对市政道路沥青路面接缝施工相关技术要点进行探
期刊
市政道路
沥青路面
施工技术
工艺流程
浅谈新课改下小学数学教学质量的提高
在新课改的教育趋势下,如何提高小学数学教学质量已成为数学教师的一个重要研究课题。如何从当前数学课堂中寻找问题,找寻解决方案,创新教学方式,提高学习效率对于小学数学教
期刊
新课改
小学数学
教学质量
盐度和饲料蛋白对凡纳滨对虾营养及消化作用研究进展
不断增加的水产品需求与缺乏可持续发展的捕捞业之间的矛盾日益凸显,为改善水产品供应短缺的问题,发展水产养殖业十分重要。随着水产养殖业集约化和规模化的发展,水环境逐步
期刊
盐度
饲料蛋白
凡纳滨对虾
营养
消化
围术期低体温的预防与护理
人体体温调节系统通常将中心体温恒定在37℃,而围手术期体温在36℃以下称为体温过低,其发生率为60%~80%,多发生在手术麻醉中。
期刊
低体温
围术期
护理
预防
围手术期
体温恒定
调节系统
人体体温
与本文相关的学术论文